客户下游行业拆分
| 应用领域 | 2019年度 | 2019年度 | 2018年度 | 2018年度 | 2017年度 | 2017年度 |
|---|
| | 收入 | 占比 | 收入 | 占比 | 收入 | 占比 |
| 电子半导体 | 32,718.48 | 31.18% | 25,675.88 | 26.87% | 18,153.97 | 22.27% |
| 机械制造 | 15,866.98 | 15.12% | 15,798.96 | 16.54% | 11,562.94 | 14.19% |
| 高端装备制造 | 14,033.53 | 13.37% | 13,936.97 | 14.59% | 11,465.22 | 14.07% |
| 新材料 | 9,479.96 | 9.03% | 7,542.23 | 7.89% | 7,991.80 | 9.80% |
| 医疗及食品 | 6,090.94 | 5.80% | 4,509.95 | 4.72% | 4,004.09 | 4.91% |
| 环保新能源 | 4,561.56 | 4.35% | 3,501.23 | 3.66% | 2,869.93 | 3.52% |
| 合计 | 82,751.45 | 78.86% | 70,965.22 | 74.27% | 56,047.95 | 68.76% |
半导体行业电子特气收入按照领域拆分
| 应用领域 | 2019 年度 | 2018 年度 | 2017 年度 |
|---|
| 光伏 | 6,245.66 | 4,637.98 | 4,273.22 |
| 光纤通信 | 3,575.32 | 2,437.22 | 1,359.11 |
| LED | 7,056.28 | 8,022.38 | 7,136.48 |
| 液晶面板 | 4,020.18 | 2,213.05 | 338.57 |
| 集成电路 | 4,351.28 | 2,776.61 | 1,758.30 |
| 电子特种气体收入（B） | 25,248.71 | 20,087.23 | 14,865.68 |
按照领域拆分的核心客户
集成电路（约4000万）
| 客户名称 | 主要销售产品 |
|---|
| 深南电路 | 纯氩、液氮、高纯氮、高纯氧、高纯乙炔、工业氧、五元混合气、四氟化碳、乙炔 |
| 华力微电子 | 液氮 |
| 联芯集成 | 超纯氨 |
| 华润微电子 | 纯氢 |
| 松下半导体 | 高纯二氧化碳、液氮、高纯氮、高纯氦、超纯氩、纯氩 |
| 上海新傲 | 高纯氢、超纯氨 |
| 美新半导体 | 高纯氧、高纯二氧化碳、液氮 |
| 华硕科技 | 工业氮、液氮、高纯氮 |
| 富士康电子 | 高纯氮、高纯乙炔、液氮、高纯氧 |
| 华天科技 | 六氟化硫、八氟环丁烷、液氮、三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、八氟环丁烷、四氟化碳、高纯乙炔 |
| 晶方科技 | 高纯二氧化碳、液氮、高纯氩、高纯氧、高纯氦、 |
| 矽品科技（日月光集团） | 高纯氧、高纯氩、二氧化碳、混合气 |
液晶面板（约4000万）
| 客户名称 | 主要销售产品 |
|---|
| 三星电子 | 气体运维服务 |
| TCL 华星 | 氧化亚氮 |
| 天马微电子 | 氧化亚氮 |
| 中电熊猫 | 氧化亚氮、超纯氨、标准气 |
| 欧菲光 | 液氮、高纯氮、高纯氩、高纯氧 |
| 京东方 | 高纯氦 |
| 龙腾光电 | 超纯氨 |
LED（约7000万）
| 客户名称 | 主要销售产品 |
|---|
| 士兰明芯（士兰微） | 超纯氨 |
| 圆融光电 | 超纯氨 |
| 中晶半导体 | 超纯氨 |
| 乾照光电 | 超纯氨、液氮、高纯氢、氢氮混合气 |
| 三安光电 | 超纯氨 |
| 华灿光电 | 高纯氢、超纯氨、液氮、超纯氧、超纯氩、高纯氧、高纯氩、超纯氩、硅烷混合气、四氟化碳 |
| 澳洋顺昌 | 混合气、标准气、高纯氮、超纯氮、氧化亚氮、三氟甲烷、高纯氦 |
| 聚灿光电 | 高纯氦、四氟化碳、超纯氨、硅烷混合气、超纯氧、四氟化碳混合气、氧化亚氮、超纯氩、三氯化硼 |
光纤通信（约3500万）
| 客户名称 | 主要产品 |
|---|
| 住友电工 | 丙烷、液氮、高纯氮、甲烷、高纯氦、纯氩 |
| 安费诺集团 | 液氮 |
| 康普通讯 | 纯氮、液氮、纯氦、液氩、高纯氩、工业氧、二氧化碳 |
| 亨通光电 | 液氮、高纯氮、高纯氢、液氧、高纯液氧、液体二氧化碳、高纯二氧化碳、乙炔、液氩、标准气、工业氧 |
| 富通集团 | 四氟化碳 |
| 亨鑫科技 | 液氩 |
| 通鼎光电 | 纯氩、高纯氮、高纯氦、氦氩混合气、乙炔、工业氧、高纯二氧化碳、氢氮混合气、液氩、丙烷 |
光伏（约6000万）
| 客户名称 | 主要产品 |
|---|
| 中能硅业（协鑫集团） | 氦气、标准气、混合气 |
| 展宇新能源 | 氧化亚氮、甲烷 |
| 通威太阳能 | 超纯氨、氧化亚氮、甲烷、高纯氢、超纯氩 |
| 爱康科技 | 甲烷、超纯氮、硅烷、氧化亚氮、超纯氨 |
| 隆基股份 | 超纯氨、氧化亚氮、高纯氮、液氮、超纯氮、混合气、标准气 |
| 阿特斯集团 | 液氮、高纯氮、高纯氧、氢氮混合气、超纯氨、硅烷 |
| 亿晶光电 | 超纯氮、高纯氮、高纯氦、高纯氢、硅烷、超纯氨、氧化亚氮、超纯氩、纯氩、高纯氧 |
| 晶科能源 | 氧化亚氮、超纯氨 |
| 天合光能 | 超纯氨、超纯氮、硅烷、高纯氮、纯氩、氧化亚氮、超纯氩、高纯乙炔、高纯氦、高纯氧、高纯氩 |
| 腾晖光伏（中利集团） | 超纯氩、超纯氨、硅烷、氧化亚氮、 |
| 东方日升 | 高纯氮、超纯氨、硅烷、高纯氦、甲烷、氧化亚氮 |
| 鸿禧能源 | 甲烷、高纯甲烷、超纯氮、氧化亚氮、液氧、液氮、超纯氨、三氟化氮 |
主营业务收入
| 项目 | 2019 年度 | 2018 年度 | 2017 年度 | | | |
|---|
| 金额 | 比例 | 金额 | 比例 | 金额 | 比例 | |
| 特种气体 | 46,010.90 | 43.85% | 38,371.70 | 40.16% | 32,668.71 | 40.08% |
| 其中：电子特种气体 | 39,122.19 | 37.28% | 33,235.18 | 34.79% | 28,063.13 | 34.43% |
| 非电子特种气体 | 6,888.71 | 6.56% | 5,136.52 | 5.38% | 4,605.58 | 5.65% |
| 大宗气体 | 46,532.97 | 44.34% | 41,787.61 | 43.74% | 32,411.62 | 39.76% |
| 其中：电子大宗气体 | 10,002.01 | 9.53% | 8,013.51 | 8.39% | 4,904.82 | 6.02% |
| 非电子大宗气体 | 36,530.96 | 34.81% | 33,774.10 | 35.35% | 27,506.80 | 33.75% |
| 天然气 | 12,392.65 | 11.81% | 15,385.06 | 16.10% | 16,427.96 | 20.15% |
| 合计 | 104,936.52 | 100.00% | 95,544.37 | 100.00% | 81,508.29 | 100.00% |
主要产品
主要产品产量
超纯氨
| 自产销量（吨） | 8,114.19 | 100.00% | 7,200.37 | 100.00% | 6,620.12 | 100.00% |
|---|
| 外购销量（吨） | - | - | - | - | - | - |
| 总销量（吨） | 8,114.19 | 100.00% | 7,200.37 | 100.00% | 6,620.12 | 100.00% |
氢气
| 自产销量（千立方） | 24,384.35 | 87.60% | 26,020.45 | 99.35% | 24,368.54 | 87.72% |
|---|
| 外购销量（千立方） | 3,452.32 | 12.40% | 169.38 | 0.65% | 3,410.28 | 12.28% |
| 总销量（千立方） | 27,836.67 | 100.00% | 26,189.83 | 100.00% | 27,778.82 | 100.00% |
氮气
| 自产销量（吨） | 40,633.63 | 29.54% | 30,400.42 | 27.13% | 5,533.24 | 6.85% |
|---|
| 外购销量（吨） | 96,922.04 | 70.46% | 81,669.31 | 72.87% | 75,204.22 | 93.15% |
| 总销量（吨） | 137,555.67 | 100.00% | 112,069.73 | 100.00% | 80,737.46 | 100.00% |
氧气
| 自产销量（吨） | 24,808.15 | 41.85% | 21,422.22 | 39.36% | 13,545.36 | 24.82% |
|---|
| 外购销量（吨） | 34,468.27 | 58.15% | 33,010.68 | 60.64% | 41,036.06 | 75.18% |
| 总销量（吨） | 59,276.42 | 100.00% | 54,432.90 | 100.00% | 54,581.42 | 100.00% |
氩气
| 自产销量（吨） | 6,275.89 | 21.37% | 6,128.77 | 22.62% | 6,544.31 | 28.39% |
|---|
| 外购销量（吨） | 23,095.67 | 78.63% | 20,968.48 | 77.38% | 16,509.39 | 71.61% |
| 总销量（吨） | 29,371.56 | 100.00% | 27,097.25 | 100.00% | 23,053.70 | 100.00% |
二氧化碳
| 自产销量（吨） | 174,337.04 | 77.46% | 168,651.95 | 85.97% | 140,895.94 | 88.03% |
|---|
| 外购销量（吨） | 50,732.21 | 22.54% | 27,514.74 | 14.03% | 19,163.76 | 11.97% |
| 总销量（吨） | 225,069.25 | 100.00% | 196,166.69 | 100.00% | 160,059.70 | 100.00% |
天然气
| 自产销量（千立方） | 17,768.42 | 50.93% | 16,476.43 | 43.10% | 23,862.50 | 45.30% |
|---|
| 外购销量（千立方） | 17,119.71 | 49.07% | 21,752.36 | 56.90% | 28,819.47 | 54.70% |
| 总销量（千立方） | 34,888.13 | 100.00% | 38,228.79 | 100.00% | 52,681.97 | 100.00% |
| | 简介 |
|---|
| 超纯氨 | 超纯氨主要应用于新型光电子材料领域，是 MOCVD 技术制备 GaN 的重要基础材料。由 GaN 生产的高灵敏度蓝光发光二级管和蓝光激光器，以及其他相关电子器件， 是国内外都在抢占的产业。超纯氨还是制备三氟化氮、氮化硅的基础材料。此外，液氨广泛地应用于半导体工业、冶金工业，以及需要保护气氛的其他工业和科学研 究。 |
| 氢气 | 氢是主要的工业原料，也是最重要的工业气体和还原剂， 在石油化工、电子工业、冶金工业、食品加工、浮法玻璃、精细有机合成、航空航天等方面有着广泛的应用。在石化工业中，需加氢通过去硫和氢化裂解等来进行原油的提炼。在轻工业中，也常使用氢气对人造黄油、食用油、洗发精、润滑剂、家庭清洁剂及其他产品中的脂肪氢化。同时氢具有高燃料性以及清洁性，航天工业常 使用液氢作为燃料，汽车工业中也加大了对于使用氢气的新能源汽车的研发。 |
| 氧化亚氮 | 氧化亚氮俗称笑气，高纯氧化亚氮作为电子气体，主要用于半导体光电器件研制生产的介质膜工艺，是直接影响光电器件质量的不可替代的关键电子气体。高纯氧化亚氮在化学气相沉积（CVD）工艺中，可用于制备掺杂 SiO2 膜。氧化亚氮还广泛应用在医用麻醉剂、食品悬浮剂、制药、化妆品等领域。 |
| 干冰 | 干冰是固态的二氧化碳，可用于模具行业清洗、石油化工电力行业清洗主风机、气压机、烟机、汽轮机、鼓风机等设备及各式加热炉、反应器等结焦结炭的清除、电子行业清洁机器人、自动化设备的内部油脂、污垢、集成电路板、焊后焊药、污染涂层、树脂、溶剂性涂覆、保护层以及印刷电路板上光敏抗腐蚀剂等清除，以及冷藏保鲜运输，如低温冷冻医疗用途以及血浆、疫苗等特殊药品的低温运输、电子低温材料，精密元器件的长短 途运输以及高档食品的保鲜运输。 |
| 硅烷 | 硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业，用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层，并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现,包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等，成为许多新技术、 新材料、新器件的基础。 |
| 氦气 | 氦气是一种无色无味的不可燃气体，利用液氦的低沸点特性，其在超导领域有广泛应用，主要用于航天、医疗、泛半导体行业。而低密度与高稳定性的双重特性，使其 可替代氢气常用于飞艇或广告气球中的充入气体。在光 学领域，氦气由于其稳定性，可用作气相色谱法中的载 色剂、温度计的填充气，并用于盖革计数器和气泡室等辐射测量设备中。 |
| 混合气 | 混合气是指标准气或含有两种或两种以上有效组份的气体。对于现实生活、生产中的一些特殊要求，单一组份气体难以满足，可通过对于不同组份气体的混合来解决。在半导体电子行业中，电子气号称电子元器件制造的粮食，多规格的混合气直接决定半导体器件的性能。在照明领域，不同稀有气体的组份会产生不同的色彩。乙炔与氧气的混合气则能产生单一组份无法达到的高温。在医用领域，不同氦氧比例混合气各有其独特性能，具有 广泛应用。 |
| 氟碳气体 | 包含六氟乙烷、八氟环丁烷、四氟化碳等。六氟乙烷也称全氟乙烷，可用作电子工业中的刻蚀气、制冷空调业中的冷媒、化学工业中的添氟剂、电力工业中的绝缘剂及高介强度冷却剂等；八氟环丁烷也称全氟环丁烷，是一种无色无臭、非易燃的气体，可用作稳定无毒的食品气体喷射剂、介质气体，此外可作为制冷剂应用，作为一种刻蚀气在半导体行业也有重要应用；四氟化碳是目微电子工业中用量最大的等离子体蚀刻气体之一，其高纯气及与高纯氧气的混合气，可广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，并且在低温制冷、电子器件表面清洗和气相绝缘等方面也被广泛应 用。 |
| 医用气体 | 医用气体是指用于医学诊断和生命救助的气体，应用领域包括血液气体检测，肺功能试验，心肺试验，外科激光器，麻醉监测，呼吸监测，医学研究，放射性示踪等。常用的医用气体有医用氧、医用二氧化碳，医用氧化亚氮以及部分稀有气体等。其中，医用氧是包括新冠肺炎在内众多疾病治疗所需的重要物资；氦有时用于改善哮喘患者的呼吸；氙在超极化核磁共振成像中用于拍摄肺 的医学影像；具有强辐射性的氡只能微量制取，可用于放射线疗法。 |
电子特气产品用途
| 类别 | 用途 | 主要产品 |
|---|
| 电子特种气体 | 化学气相沉积（CVD） | 氨气、氦气、氧化亚氮、TEOS（正硅酸乙酯）、TEB（硼酸三乙酯）、TEPO（磷酸三乙酯）、磷化氢、三氟化氯、二氯硅烷、氟化氮、硅烷、六 氟化钨、六氟乙烷、四氯化钛、甲烷等 |
| | 离子注入 | 氟化砷、三氟化磷、磷化氢、三氟化硼、三氯化 硼、四氟化硅、六氟化硫、氙气等 |
| | 光刻胶印刷 | 氟气、氦气、氪气、氖气等 |
| | 扩散 | 氢气、三氯氧磷等 |
| | 刻蚀 | 氦气、四氟化碳、八氟环丁烷、八氟环戊烯、三氟甲烷、二氟甲烷、氯气、溴化氢、三氯化硼、 六氟化硫、一氧化碳等 |
| | 掺杂 | 含硼、磷、砷等三族及五族原子之气体，如三氯 化硼、乙硼烷、三氟化硼、磷化氢、砷化氢等 |
| 电子大宗气体 | 环境气、保护气、载 体 | 氮气、氧气、氩气、二氧化碳等 |
关键工艺
气体纯化
工艺流程说明：经检验合格的原料充入原料储罐存储，然后经计量、增压器增压，依次送入洗涤塔、干燥塔、吸附塔除去颗粒物、酸性气体、水分等杂质， 由吸附塔出来的气体进入精馏塔，在精馏塔中除去轻重组分杂质、金属离子得到高纯产品。高纯产品经低温液体泵送入充装系统，在充装系统中分别充入罐车、集装格和钢瓶中，经成品检验合格后成品入库。
气体混配工艺
新钢瓶经钝化处理后，进行钢瓶检测，检测合格后将钢瓶接入混配装置，在混配装置中充入单种或多种组分气、平衡气，根据客户需求调节各组分气及平衡气的比例进行配气，充气完成后将钢瓶放置到混匀机上将气体混匀，经成品检验合格后成品入库。
气体检测工艺
将充装后的钢瓶、集装格或鱼雷车接入样品处理面板，进行置换处理待分析；载气（多种分析仪器的辅助系统）经纯化后引入分析仪器，分析仪器稳定后批量检测来自面板的气体，进行钢瓶气的成品分析，分析结果经过电脑数据处理软件处理后得到成品的检测数据。气体检测用的分析仪器主要有组分分析、水分分析、金属离子分析、颗粒度分析等四大类仪器。
钢瓶处理
工艺流程说明：待处理钢瓶分类接入钢瓶余气处理系统，置换处理后将钢瓶阀门卸下；钢瓶依次经内表面清洗及抛光后钢瓶中的水分使用热氮气吹扫，吹扫后装瓶阀、检漏，合格后将钢瓶放入烘箱进行真空干燥。经干燥的钢瓶做水分含量的检测，检测合格后将钢瓶从烘箱中移出，进行外表面处理和检查，检查合格后钢瓶登记入库。
